開課單位：精密工程研究所
課程簡介：「微機電製程設計」課程是以材料工程、半導體物理、高等化學、高等應用力學為基礎之深入的研究所課程。微機電系統(MEMS)在概念上是結合半導體製程技術與精密機械技術，來製造微小元件及功能整合的微系統。微機電系統產品的優點為超「輕、薄、短、小」，且附加價值高。最重要的是，它還符合綠能科技的宗旨，符合環保、省能源、省空間、省材料等多項優點。
課程設計：課程背景基於在科技快速發展與半導體產業於現在科技領域佔有一席之地，相關微機電工程人才有相當迫切之學習需求。微機電元件的製造技術是利用目前的半導體製造技術為基礎再加以延伸應用，其製程概分為三類：(1)薄膜及氧化層沉積(2)黃光微影(3)蝕刻之製程步驟等。其製造技術的彈性與變化比一般的IC製造技術來的大，從薄膜成長，黃光微影，乾/濕蝕刻成型等製程都在微機電製程的應用範疇，再配合其他新發展的精密加工與矽微加工技術(例如:異向性蝕刻，電鑄，LIGA…等)，而成為現在所發展的微機電元件的製造技術。整個系統的完成則是靠各個關鍵元件的整合，再加上最後系統的封裝測試。綜合上述的內容，即可學習到一系列微機電系統的相關知識，從材料的基礎、微機電元件的製程、薄膜成長和結構、元件的可靠性，到最後微結構與機械性質的檢測方式。透過本課程，不僅能幫助學生在未來研究和工作上能順利完成，還能充分發揮能源重複再利用的效果，創造出更多社會所需要的產品和價值。